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2812901100三氟化氮
M1002912,反应腔体清洗气体,用于CVD区域

4016931000硫化橡胶制O型密封圈)
密封反应腔腔口,耐高温,799-099720-001/60081347-0001

7020001990石英制品
M4400011,石英导气管,用于反应腔内导入气体

7020001990石英制品
M4400012,石英导气管,作为反应腔内导入气体

8419899090冷却装置
ES3D13-000006-V2;通过冷却器使反应腔体冷却

4016931000硫化橡胶制垫圈
密封反应腔腔口,耐高温,734-007293-200/4692676-0001

4016931000硫化橡胶制O型密封圈)
硫化橡胶制,用于密封反应腔腔口

8486909000罩板/APPLIED
铝制,保护反应腔,离子注入机专用,0020-91272

8486909000气体分散器/15-293096-00
用于刻蚀机反应腔内气体分散用,铝制

8486909000去光阻设备专用波纹管
机器反应腔用;诺发牌;型号05-3618;不锈钢制

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