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84862021化学气相沉积装置
|OerlikonSolar|KAIMT
化学气相沉积装置
化学气相沉积装置主要用于太阳能电池组件导电层的镀膜。工作原理:该装置内部的传输机械手将玻璃基板传送到薄膜沉积模块中,在一定的温度、压强下,等离子体发生器在反应室内产生射频电压,将工艺气体电离成原子、分子、原子团形式的带电荷粒子混合状态,经过离子碰撞后使之发生化学反应,沉积成一层非晶硅或者微晶硅薄膜在玻璃基板表面。
8486909000化学气相沉积装置导轨
化学气相沉积装置用,金属制/OERLIKON牌/144376

8486909000金属化学气相沉积装置用腔体盖板
化学气相沉积装置用;JUSUNG;无型号

8486909000金属化学气相沉积装置用腔体盖板
化学气相沉积装置用;品牌:JUSUNG;无型号

8504409990化学气相沉积装置用马达驱动器
化学气相沉积装置用;品牌MAGNEMOTION;控制马达

8486909000化学气相沉积装置用玻璃支撑架
化学气相沉积装置腔体内部支撑玻璃用;品牌JUSUNG

8486202100等离子增强化学气相沉积装置
等离子增强化学气相沉积装置|半导体制造工

8486909000化学气相沉积装置用机械臂支撑组件
化学气相沉积装置用,支撑机械臂;品牌JUSUNG;无型号

8486909000化学气相沉积装置用导向块
化学气相沉积装置用,传输信号使机械臂运作;品牌JUSUNG

8486202100化学气相沉积装置
半导体制造工艺用|两种或两种以上的气态原

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