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8486209000半自动晶圆裂片机
用于氮化镓外延片裂片分开;详见备注;OPTO;OBM-90TPS

8486209000上蜡机
32SWM;将陶瓷盘滴上蜡滴用于固定LED外延片

6815100000石墨盘
高纯度石墨制|在LED外延片生产中用作生长载体

6815100000石墨盘
;作为外延片生长的载片盘,起固定支撑作用

8486202100金属有机化学气相沉积设备
用于生产LED高亮度蓝绿光外延片|将各类

848620900002plasma电浆去光阻机
CNT-PA03B;LED外延片表面清洁、去除残余光阻薄层

8421199090旋干机
SV-702-M2(双槽);利用高速旋转离心力将外延片旋干

8421199090旋干机
外延片水分旋干;敦仪牌;SV-702-M2(双槽);旋转离心力

8486209000O2plasma电浆去光阻机
CNT-PA03B;LED外延片表面清洁,去除残余光阻薄层

8479899990旋干机
SV-702-M2(双槽);利用高速旋转离心力将外延片旋干

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