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用于芯片制造工艺中,对线路宽度,高度等关

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用于医学,农业等|电子束依次通过物境,中

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;;;S-3400N

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VEGA 3 LMH

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材料研究|电子束聚焦|JEOL|JSM-

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分析样品的微观结构|该仪器可以将样品放大

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三维形貌的观察和分析,并进行微区的成分分

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使细微的物质结构在高的放大倍数下成像|根

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显微结构的分析,纳米尺寸的研究|见备注|

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用途:材料微观放大成像后进行观测,研究|

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