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8101999000钨制电极(离子注入机用于产生离子源)
E17343760

8101999000钨制阴极(离子注入机用于产生离子源)
E17295630

7318150090平头六角螺钉(离子注入机用)
Varian牌;不锈钢制;螺钉;平头;杆径2.54mm

8537109090基盘偏转控制器(离子注入机内用
型号E11048881

8101960000钨制灯丝(离子注入机产生离子源用)
E17041850

8102990000钼制夹子(离子注入机内固定阴极用)
E17292550等

8103909090固定灯丝用钽制夹子(离子注入机用)
E17324960

9032100000温度控制器/AXCELIS/离子注入机用
416752/用于控制机台内部冷却计中的水温/闭环控制

9033000000光电传感器(离子注入机等通用,AX
型号616563

8546900000离子注入机用绝缘子(工作腔绝缘)
绝缘用17A4191A

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