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用途：用于半导体设备（扩散炉）的加热设备；品牌坂口电热；型号5UOT057318；功能：通过电流对电阻丝加热，产生热量，使炉内温度达到工艺要求，从而使硅片可以在高温下进行氧化反应。结构组成：加热器壳体，电阻加热器，石膏层。原理：电流通过电阻丝时，电阻丝发热，产生热量，使温度达到生产所需的温度。技术参数：工作电压208V，频率50HZ，功率41KW，温度范围600-850度。 - 9032899090控制器,扩散炉用,通过信号反馈控制压力变化,闭环控制
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