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9026209000压力计/MKS牌/41B11DGA2AA001
用于测量真空腔体内的压力

9025900090热电耦
用于给涂层腔体测量温度;欧瑞康牌;BB506725-T#A

9027801990四极质谱装置
Inficon;四极杆;检测气密性;腔体;TSP2H100

9032100000恒温器/品牌:VEECO
型号:1029167自动维持反应腔体内温度

6815100000狭缝石墨块(用于制程腔体,内部部件隔离保护用)
E17398810已制成特定形状

6815100000狭缝石墨块(用于制程腔体,已制成特定形状)
E17398810内部部件隔离保护用

4016931000硫化橡胶制密封圈(树脂浇注机混合腔体密封)
KZ-00000-16333HUBERS供

6815100000石墨挡板(用于制程腔体,已制成特定形状)
E17377500内部部件隔离保护用

4016931000硫化橡胶制密封圈(树脂浇注机混合腔体密封)
KZ-00000-01161HUBERS供

4016931000硫化橡胶制密封圈(树脂浇注机混合腔体密封)
KZ-00000-01743HUBERS供

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