- 8538900000数控装置用信号分配板(光刻机数控电气控制装置上
- 型号4S008-187AN
- 8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控
- 型号4S018-386-1AN
- 8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制
- 型号4S007-959BN
- 8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制装
- 型号4S018-885AN
- 8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制装置
- 型号4S007-627AN
- 8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制装置
- 型号4S008-063AN
- 9001909090透镜,ASML,石英制未装配波长248nm,光学加工光刻机专用
- SERV.454.54832通过折射改变激光的路径用于光源的分光
- 9002909090透镜(ASML,光刻机用,改变激光的路径用于光源的聚焦,已装配)
- 型号SERV.637.17571
- 9032899090马达控制器(光刻机用,闭环控制)通过反馈自动控制功率
- CYMER牌,S163850,不与执行机构进口时装在一起
- 8414809090空气泵(ASML,电动式,通过电机驱动向光刻机照明系统输送冷却空气,防止照明系统温度过高而影响设备运转,光刻机用)
- 型号SERV.436.35843
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