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9013200090激光器
用于光刻机平台上的精确定位;HP;激光波段相干干涩原理

9032899090检测模块
光刻机用;GIGA;测量调整激光质量;接收信号并作出反应

8537109090电路板
光刻机用;CANON;通过马达驱动遮光挡板位置;定制无型号

9032899090控制器
光刻机运动部件上用;ASML;自动控制;控制零部件运动

9032899090控制器
光刻机运动部件;ASML;自动控制;控制零部件运动;无型号

8538900000数控装置用信号分配板(NIKON,专用于光刻机数控电气
型号4S008-212AN

8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控
型号4S017-947BN

8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制装
型号4S007-978AN

8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制装
型号4S008-033AN

8538900000数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制装
型号4S013-349AN

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