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8486909000基座(刻蚀机专用)
刻蚀机专用;;型号2L80-000157-11;机台结构体

8486909000刻蚀机专用环
干法刻蚀机专用;LAM牌;型号716-072576-415;硅制

8486909000刻蚀机专用支架
干法刻蚀机专用;LAM牌;型号715-038815-009;铜制

8486909000刻蚀机专用环
干法刻蚀机专用;LAM牌;型号713-072727-050

8486909000刻蚀机专用环
干法刻蚀机专用;LAM牌;型号716-072576-415

8486909000刻蚀机专用管路
干法刻蚀机专用;LAM牌;型号790-088439-002

8486909000刻蚀机用挡板
刻蚀机用;LAM;790-008220-002;保护反应腔

8486909000刻蚀机用夹子
刻蚀机用;AMAT;0690-01036;夹持固定硅片

8486909000刻蚀机用叶片
刻蚀机用;AMAT;0020-99710;阻挡离子束

8486909000刻蚀机用冷却板
刻蚀机用;TEL牌;型号3D10-150291-11;钢铁和塑料制

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