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8486909000气体分配盘
制造半导体器件的干法刻蚀机专用;;型号713-040539-001

8501109990马达(规格:额定电压6V,额定功率5W/微电机)
VEXTA牌,无型号,基座尺寸40*45mm,干法刻蚀机用

7318220001垫圈/品牌:AMAT牌/单层
;材质:钢铁制;;;型号:0020-48628等;刻蚀机用,密封作用

7318220001钢铁制垫圈/型号:0200-18109
品牌:AMAT牌;材质:钢铁制;;;;用途:刻蚀机用/单层

8543201000信号发生器
刻蚀机设备用;诺发牌;具有独立功能;型号R27-370088-00

8543709990安全光幕
可用于干法刻蚀机|发出红外光并产生保护光

6909190000陶制环
干法刻蚀机用;陶制;莫氏硬度小于9;型号716-072581-055

9026209000压力计/23-2979
用于刻蚀机真空腔压力检测,有计量装置

9026209000压力计/60-166184-00
用于刻蚀机真空腔压力检测,有计量装置

9032899090自动控制器
干法刻蚀机用;STEC牌;闭环控制;控制气体流量

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