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28129011三氟化氮


【英文名】nitrogentrifluoride【CAS号】7783-54-2【危险性类别】氧化性气体,类别1加压气体特异性靶器官毒性-反复接触,类别2【分子式】F3N【外观与性状】无色、无臭、性质稳定的气体【主要用途】三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。【危险特性】强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧,甚至爆炸。与易燃物(如苯)和可燃物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。【健康危害】能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜,腐蚀组织。【防护措施】呼吸系统防护:佩戴防护口罩。眼睛防护:必要时戴安全防护眼镜。身体防护:穿防护服。手防护:必要时戴防化学品手套。其他防护:工作现场禁止吸烟。保持良好的卫生习惯。
2812901100三氟化氮
NF3

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型号:NF3

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纯度:99.9%。分子式:NF3

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纯度:99.9%。分子式NF3

2812901100三氟化氮
在反应干刻用来进行必要的化学清洁反应的材料

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M1002912,反应腔体清洗气体,用于CVD区域

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纯度:99.99%。分子式:NF3

2903399090三氟化氮
99.995%|高能化学激光器的氟源

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