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用氦质谱检漏仪抽空系统获得真空,氦质谱检

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利用氦气无毒重量轻易搜集的特性|对密封系

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550-000.用于半导体工业精确检漏

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通过离子源分离空气中的氦离子,质谱室检测

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品牌AGILENT型号VSPD03原理电磁偏转原理

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550-500.用于集成电路,电器元件等半导体工业精确检漏

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输入氦气,使密封腔体内充满氦气,用质谱检

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输入氦气,通过气体流量来检测|检测是否漏

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利用氦质谱仪对氦气的检测反映泄露率的大小

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